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弹性欧宝平台网站的刚度设为k,隔振系统的阻尼系数为c,弹簧下的基础为刚性基础,弹簧隔振器的动力学模型。它代表了压印光刻机连接到橡胶欧宝平台网站并固定在刚性基础上的隔振问题。对于外部运动位移xs振源的激励,橡胶欧宝平台网站起隔振作用。
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实际隔振系统的质量m由压印光刻机、大理石板、粘弹性阻尼材料、水泥地基连接钢板、欧宝平台网站等组成。系统阻尼大,故设置隔离5Hz以上的振动位移干扰。为满足隔振系统的固有频率fn=1Hz的要求,对欧宝平台网站刚度和系统固有频率进行了选取,必须对其刚度进行选取。考虑到简便易行,暂不考虑阻尼的影响,所以隔振系统的固有频率。欧宝平台网站参数估计隔振系统的固有频率0.6Hz小于1Hz,结果满足设计要求。
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通过对实际隔振系统进行振动试验,得到自由振动幅值衰减曲线。根据隔振系统的时域自由振动曲线,通过频谱分析可以得到隔振系统的频谱特性,基频为0.8Hz,满足小于1Hz的要求,实验结果与理论估计0.6Hz非常接近,说明理论估计是可靠的。欧宝平台网站隔振器可以满足低频隔振的要求。隔振设计理论分析结果与实测结果基本一致,表明了理论分析的正确性。该工作对实际工程问题具有参考价值。
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